| 尤晖，男，研究员，博士，博士生导师。99年毕业于中国科大精密仪器与机械专业，获博士学位。同年出国，先后在日本立命馆大学、英国Hertfordshire 大学和剑桥大学做博士后。2004年起在英国纽卡斯尔大学和格拉斯哥大学任正式教职(永久职位)。国外工作11年，一直从事微电子机械系统（MEMS）的研究和研究生教学，主要经验包括微流体及其在生物医学方面的引用研究、微传感器，微致动器和微加工工艺。 2010年底，回国加入智能所，开辟了超声微流体新研究方向。这是微机械、电子、生物工程、化学和纳米技术等多学科交叉的一个前沿研究领域。目前主要开展聚焦超声波MEMS器件与微流体的集成系统的开发及应用研究。在研项目有国家自然科学基金面上项目“用于微流体环境中超声波基因细胞导入的MEMS 器件研究”。 本研究室主要研究方向是微电子机械系统（MEMS），包括微流体、MEMS超声波器件、MEMS仿真设计含固-液-声耦合仿真、微传感器，微致动器、微加工工艺、微纳制造工艺兼容性等 | 
